Silizium auf Isolator (SOI)

Autor: Roger Morrison
Erstelldatum: 27 September 2021
Aktualisierungsdatum: 2 Kann 2024
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7.17. Silicon on Insulator
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Definition - Was bedeutet Silicon on Insulator (SOI)?

Silicon on Insulator (SOI) ist eine Baukonvention für Halbleiter, bei der Ingenieure Materialien wie kristallines Silizium und Siliziumoxid nutzen, um die Herstellung von Mikroprozessoren und integrierten Schaltkreisen zu rationalisieren.


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Techopedia erklärt Silicon on Insulator (SOI)

SOI-Chips haben sich herauskristallisiert, um die Konvention des komplementären Metalloxidhalbleiters (CMOS) in Frage zu stellen, der einen als Dotierung bezeichneten Prozess verwendet. In SOI gibt es keine Dotierung, wodurch Entwickler den Prozess des Entladens und Aufladens der Kapazität für das Bauelement eliminieren können. Dies begrenzt wiederum den Wärme- und Energieverbrauch. Experten sehen die Entwicklung von SOI auch als Teil des laufenden Prozesses zur Erweiterung des sogenannten Moores-Gesetzes, das die Verdopplung von Transistoren auf einer integrierten Schaltung und die fortschreitende Miniaturisierung elektronischer Hardware ermöglicht.


SOI-Chips können einen Prozess verwenden, der als Separation durch Implantation von Sauerstoff (SIMOX) bezeichnet wird. Dabei wird gereinigter Sauerstoff bei hohen Temperaturen in den Siliziumwafer aufgenommen, wodurch Siliziumoxid entsteht, das sich mit dem reinen Silizium verbindet.

Eine weitere Möglichkeit, mit der SOI bei der fortschrittlichen Geräteherstellung hilft, besteht darin, Interferenzen durch Hintergrundstrahlung oder andere physikalische Aspekte der Umgebung zu begrenzen.